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时间：2020-07-04 00:11:12来源：新华社
新华社北京6月28日电（记者胡喆）记者28日从中国电子科技团体有限公司获悉，由该团体旗下电科装备自主研制的高能离子注入机乐成实现百万电子伏特高能离子加快，机能到达国际先历程度。
据先容，离子注入机是芯片制造中的要害装备。在芯片制造进程中，需要掺入差异种类的元素按预定方法改变质料的电机能，这些元素以带电离子的形式被加快至预定能量并注入至特定半导体质料中，离子注入机等于执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
高能离子注入机是离子注入机中技能难度最大的机型。持久以来，因其极大的研举事度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机规模的“珠穆朗玛峰”，融易新媒体，是我国集成电路制造装备财富链上亟待攻陷的要害一环。
电科装备在离子注入机规模具有较好的技能积淀，已持续打破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产物研发及财富化困难，产物遍及处事于全球知名芯片制造企业。
电科装备离子注入机总监张丛暗示，电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机，实现我国芯片制造规模全系列离子注入机自主创新成长，并为全球芯片制造企业提供离子注入机成套办理方案。
